Panoramica del prodotto
I target di sputtering in lega di titanio di grado 5 (Ti-6Al-4V, UNS R56400) forniscono una deposizione uniforme di film sottile-per applicazioni di rivestimento PVD industriale che richiedono elevati rapporti resistenza-peso e resistenza alla corrosione. Realizzati tramite fusione a induzione sotto vuoto e lavorazione termomeccanica controllata, questi target garantiscono microstrutture dense e omogenee per ridurre al minimo la formazione di noduli e la formazione di archi durante i processi di sputtering con magnetron CC o RF.
Specifiche tecniche
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Parametro |
Norma di specifica |
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Composizione materiale |
Ti: equilibrio, Al: 5,5%–6,7%, V: 3,5%–4,5%, Fe<= 0.40%, O <= 0.20% |
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Purezza |
>= 99.4% (esclusi gli elementi interstitial) |
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Densità |
>= 4.43 g/cm3 (Theoretical density >= 99%) |
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Granulometria media |
< 100 um |
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Forme disponibili |
Planare (rettangolare, circolare, segmentato), rotatorio (cilindrico) |
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Dimensioni |
Progettato su misura-fino a 3000 mm di lunghezza/diametro |
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Piastre di supporto |
Rame-esente da ossigeno (OFC), alluminio 6061 |
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Metodi di legame |
Legame con indio, legame con elastomero, legame per diffusione |
Caratteristiche principali
Microstruttura fine e omogenea:La struttura a grana equiassica previene l'erosione anomala localizzata e riduce l'espulsione di particelle durante lo sputtering del magnetron ad impulso ad alta-potenza (HIPIMS).
Alta densità:Sinterizzato e forgiato per ridurre al minimo la porosità interna, eliminando l'intrappolamento di gas e la contaminazione della camera a vuoto.
Forte integrazione della piastra di supporto: Ultrasonic scanning guarantees >= 95% di copertura di adesione tra il pannello Ti-6Al-4V e la piastra di supporto in rame/alluminio per una conduttività termica ottimale.
Controllo dimensionale preciso:Lavorato con tolleranze meccaniche strette da (+/- 0.05 mm a +/- 0.1 mm) per adattarsi ai gruppi catodici OEM senza modifiche.
Applicazioni
Impianti biomedici:Film sottili biocompatibili resistenti all'usura-su dispositivi ortopedici e dentistici.
Aerospaziale e difesa:Rivestimenti protettivi resistenti all'erosione-su pale di turbine e dispositivi di fissaggio strutturali.
Hardware decorativo:Rivestimenti duri colorati durevoli e resistenti ai graffi-(sistemi multistrato TiN/TiCN/TiAlN-) su beni di consumo e finiture automobilistiche.
Ricerca e sviluppo e-film sottili:Deposizione su scala di laboratorio-per studi sulla fase delle leghe e test su film sottili-di semiconduttori.
Personalizzazione e produzione
La produzione utilizza la fusione a induzione sotto vuoto (VIM), la rifusione ad arco sotto vuoto (VAR), la forgiatura a caldo e impianti di lavorazione CNC multi-assi situati all'interno dell'-azienda.
Geometrie personalizzate:Fabbricato in base ai disegni CAD del cliente, inclusi bordi a gradini, canali di raffreddamento e fori di montaggio filettati.
Profilazione del target:Profili di utilizzo magnetico su misura per massimizzare la durata del target in specifiche configurazioni del magnetron.
Prototipazione e scalabilità-:La pianificazione batch flessibile supporta sia singoli pezzi di ricerca e sviluppo che cicli di produzione ad alto-volume.
Controllo qualità e certificazioni
Ogni lotto di produzione viene sottoposto a rigorosi controlli in più-fasi utilizzando apparecchiature di test dedicate. I rapporti sui test sui materiali (MTR) che soddisfano la conformità EN 10204 3.1 e le schede tecniche dei lotti rappresentativi sono disponibili per la revisione di pre-qualificazione [Scarica PDF MTR di esempio].
Composizione chimica:Spettrometria di massa al plasma accoppiato induttivamente (ICP-MS) e fusione di gas inerte per l'analisi dei gas interstiziali (O, N, H).
Analisi della microstruttura:Microscopia ottica e diffrazione di retrodiffusione elettronica (EBSD) per la verifica della dimensione dei grani.
Integrità interna:Test C-scan a ultrasuoni per rilevare vuoti sotto-superficiali, delaminazione o aree non incollate.
Precisione dimensionale:Rapporti di ispezione CMM (macchina di misura a coordinate) forniti con ogni spedizione.
Conformità:Prodotto secondo i sistemi di gestione della qualità ISO 9001:2015.
Imballaggio e consegna
Confezione:Sigillato sottovuoto-in sacchetti di polietilene multistrato anti-multi-strato con imbottitura in schiuma ad-densità all'interno di robuste casse di legno per l'esportazione per prevenire l'ossidazione della superficie e danni da impatto durante il trasporto.
Tempi di consegna:2-3 settimane per le dimensioni standard; Da 4 a 5 settimane per geometrie personalizzate complesse o assemblaggi incollati.
Logistica:Spedito tramite trasporto aereo o marittimo con indicatori di urto e inclinazione attaccati all'imballaggio.
Domande frequenti
D: Come si previene la formazione di noduli e archi durante lo sputtering ad alta-potenza?
R: Il controllo del processo di fusione della materia prima e la successiva forgiatura meccanica-a più fasi termiche-limita la segregazione localizzata delle impurità. Il mantenimento di una dimensione media dei grani inferiore a 100 micrometri garantisce tassi di erosione costanti su tutta la superficie target, sopprimendo le instabilità del plasma.
D: Qual è la forza di adesione massima per i target montati su piastre di supporto in rame?
R: I metodi di incollaggio con indio ed elastomero raggiungono una resistenza al taglio superiore a 10 MPa. L'ispezione C-a ultrasuoni verifica un'area superficiale libera-non incollata minima pari al 95%, prevenendo il surriscaldamento localizzato e la rottura del bersaglio a densità di potenza elevate.
D: Potete produrre target segmentati per linee di rivestimento architettonico-di grandi aree?
R: Sì. I target planari che superano le dimensioni standard della camera a vuoto sono prodotti in segmenti ad incastro di precisione-con tolleranze articolari mantenute entro +/- 0.02 mm per mantenere una continuità del plasma senza soluzione di continuità.
D: Quale documentazione è inclusa in ogni spedizione?
R: Ogni spedizione include un-report di test sui materiali (MTR) specifico per il lotto che descrive in dettaglio l'esatta composizione chimica (inclusi gli elementi interstiziali), misurazioni della densità, mappe di scansione a ultrasuoni e fogli di ispezione dimensionale CMM.
D: Qual è il tempo di consegna standard per target circolari o planari-progettati su misura?
R: Gli ordini personalizzati standard vengono spediti entro 3 o 4 settimane, compresa la preparazione delle materie prime, la lavorazione di precisione, l'incollaggio, l'ispezione finale e l'imballaggio. Sono disponibili corse accelerate per situazioni critiche di inattività della linea.
D: I tuoi target sono compatibili con alimentatori magnetron sputtering sia DC che RF?
R: Sì. La conduttività elettrica uniforme e la densa struttura metallurgica supportano un funzionamento stabile in modalità di alimentazione CC, CC pulsata e RF senza micro-archi.
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